產品總覽 / Mitaka 工業雷射探針量測儀 / 雷射探針自動對焦掃描量測技術
Mitaka 的 雷射探針自動對焦掃描量測技術 ( Point Autofocus Probe, PAP ), 被列入國際量測規範 ISO 25178-605. 隸屬非接觸式的精密量測.
技術核心採用雷射作為實時連續聚焦的參考光束, 通過鏡頭, 在樣品表面的聚光點口徑僅達 0.5 µm. 聚光點會持續反射被自動對焦偵測器 (AF sensor) 所感測, 進而自動控制顯微鏡的對焦. 此一機制, 不僅連續性聚焦, 更可消除樣品表面因為穿透性產生的雜光, 或者, 樣品表面因為旁邊材料產生的反射雜光. 進而達到精密的掃描量測., 也可應用於高反率的樣本量測, 透明物體的量測.
以 PF-60 而言, Z-軸移動最大軸距是 60 mm (精度 0.1 µm ), 自動對焦量測距離是 10 mm (精度 0.01µm )
從實物標準式片量測, PAP 技術完全吻合國際表面粗糙度的量測. 是一可信賴的量測方法.
XY 載台, 具有高精密的行程控制, 不受環境溫度影響位移精度. 可量測的一棟面積為 60 x 60 mm ( PF-60 ), 也可客制載檯到 6”, 8”, 12” 甚至到 600 x 600 mm 以上.
